Gia Công Phay & Tiện CNC Buồng Chân Không (Vacuum Chamber) Ngành Bán Dẫn

Kỹ thuật phay cnc buồng chân không (Vacuum Chamber) tại Cơ Khí Lê Thịnh phục vụ trực tiếp cho các hệ thống quang khắc, máy lắng đọng màng mỏng PVD/CVD trong quy trình sản xuất vi mạch. Buồng chân không yêu cầu độ kín khí tuyệt đối, bề mặt lòng trong không rỗ khí và rãnh gioăng O-ring được phay siêu mịn.

Chúng tôi nhận gia công phay và tiện CNC các buồng chân không nguyên khối từ Nhôm A6061-T6, Inox 316L và Titan Grade 2.

1. Các Chi Tiết Buồng Chân Không Gia Công CNC

• Thân buồng chân không nguyên khối: Phay hốc lớn 3D, phay các cổng kết nối cảm biến và ống hút chân không.

• Nắp đậy & Mặt bích kín khí: Tiện/Phay bề mặt phẳng đạt độ song song ±0.005mm, rãnh soi gioăng chân không (Viton O-ring) bóng mịn.

• Tấm phân phối khí (Showerhead/Gas Distribution Plate): Khoan hàng nghìn lỗ vi mô phân phối khí đều trong buồng quang khắc.

2. Lợi Thế Gia Công Tại Cơ Khí Lê Thịnh

• Kín khí áp suất âm cực cao: Đảm bảo rãnh gioăng không có vết xước vi mô, đạt chuẩn rò rỉ khí siêu nhỏ.

• Xử lý bề mặt cao cấp: Hỗ trợ Anodize mờ, Anodize cứng bóng hoặc đánh bóng gương Inox 316L.

Quý khách có thể xem thêm các bài viết cùng chuyên mục tại trang Linh Kiện Theo Ngành.