Gia Công Phay & Tiện CNC Vòi Phun Hóa Chất & Bơm Quang Khắc Bán Dẫn

Dịch vụ tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn và chế tạo các cụm vòi phun axit quang khắc (Photoresist Spray Nozzles), van màng định lượng hóa chất rửa đĩa Wafer, rắc co bích nối đường ống dẫn dung dịch Axit Sunfuric (H2SO4), Axit Hydrofluoric (HF) và piston bơm dung dịch rửa siêu âm giữ vai trò huyết mạch quyết định trực tiếp đến độ sạch vi mô bề mặt phiến silicon và độ ổn định của cỗ máy quang khắc chip bán dẫn hiện đại.

Do phải trực tiếp luân chuyển các dòng hóa chất ăn mòn cực mạnh ở áp suất nén cao và nhiệt độ gia nhiệt hóa chất lên tới +120°C, các chi tiết vòi phun và cụm bơm bán dẫn bắt buộc phải được gia công tiện phay CNC từ các dòng nhựa kỹ thuật bán dẫn siêu thuần tinh khiết (PEEK Virgin, Teflon PTFE, PVDF) hoặc Inox 316L đánh bóng điện hóa, đạt độ nhẵn lòng ống mượt bóng gương Ra 0.1µm để triệt tiêu hoàn toàn sự bám dính bọt khí hay sự rò rỉ ion kim loại.

Tại Cơ Khí Lê Thịnh, chúng tôi tự hào mang đến giải pháp tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn chính xác cao tuân thủ nghiêm ngặt các tiêu chuẩn phòng sạch ISO Class 5 và hệ thống quản lý chất lượng ISO 9001.

Xưởng trang bị mâm cặp tiện CNC Thụy Sĩ đùn phôi vi lượng, trung tâm phay CNC 3D 5 trục cao tốc, máy đo độ nhẵn bề mặt quang học và hệ thống rửa siêu âm tiệt trùng 3 cấp. Lê Thịnh cam kết mang đến các sản phẩm tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn sắc nét, đạt dung sai vi mô ±0.003mm, phẳng lì 100% không bám dính cặn hóa chất.

DANH MỤC TIỆN CNC VÒI PHUN HÓA CHẤT BÁN DẪN TẠI LÊ THỊNH

Đáp ứng các tiêu chuẩn luân chuyển dung dịch quang khắc khắt khe từ các xưởng sản xuất linh kiện bán dẫn B2B, công đoạn tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn tại Lê Thịnh làm chủ các nhóm sản phẩm chiến lược:

Bảng thông số tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn

KỸ THUẬT TIỆN LỖ VI MÔ VÀ ĐÁNH BÓNG LÒNG ỐNG TRONG TIỆN CNC VÒI PHUN HÓA CHẤT BÁN DẪN

Đầu vòi phun hóa chất bán dẫn đòi hỏi kích thước lỗ phun dạng sương cực kỳ nhỏ (từ 0.2mm đến 0.5mm). Khi gia công trên nhựa dẻo Teflon hay PEEK, nếu dao tiện bị cùn hoặc bị tích nhiệt sẽ gây xơ tua bavia vi mô ở đầu lỗ, làm lệch hướng chùm phun axit. Do đó, công đoạn tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn tại Lê Thịnh áp dụng kỹ thuật gọt siêu mượt:

• Sử dụng dao tiện kim cương tự nhiên PCD (Polycrystalline Diamond) góc gọt cực bén: Cắt gọt nhẹ nhàng tạo đường kính lỗ phun tròn trịa tuyệt đối, không có vết gờ dăm.

• Xử lý đánh bóng điện hóa Electro-Polishing cho chi tiết Inox 316L: Bóc tách lớp vỏ kim loại vi mô, loại bỏ triệt tiêu hoàn toàn sự hòa tan ion Fe/Cr vào dung dịch axit rửa Wafer.

• Rửa siêu âm phòng sạch 3 cấp & Kiểm tra dưới kính hiển vi 100x: Đảm bảo lòng ống vòi phun tiệt trùng bụi bẩn 100% trước khi niêm phong.

HƯỚNG DẪN BẢO DƯỠNG VÀ BẢO QUẢN SAU KHI TIỆN CNC VÒI PHUN HÓA CHẤT BÁN DẪN

Vòi phun và van màng hóa chất bán dẫn sau thời gian dài phun dung dịch axit quang khắc cần được chăm sóc đúng quy trình phòng sạch. Đối với quá trình vận hành sản phẩm tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn, các kỹ sư phòng sạch cần chú ý:

• Súc rửa đường ống vòi phun bằng nước siêu thuần DI Water sau mỗi chu kỳ quang khắc: Triệt tiêu cặn hóa chất đọng lại gây kết tinh làm tắc nghẽn lỗ phun vi mô.

• Tránh dùng công cụ kim loại cứng để thông lỗ phun nhựa PEEK/PTFE: Dùng sóng siêu âm để làm sạch cặn bẩn, tránh làm trầy xước góc mép lỗ phun.

• Kiểm tra độ kín khít của ren rắc co bích nối định kỳ: Thay thế phớt làm kín Teflon khi phát hiện rò rỉ áp suất hóa chất.

TIÊU CHUẨN KỸ THUẬT QUAN TRỌNG KHI TIỆN CNC VÒI PHUN HÓA CHẤT BÁN DẪN

Vòi phun hóa chất nếu tiện bị lệch dung sai ren rắc co NPT sẽ gây xì rò rỉ dung dịch axit mạnh ra buồng máy quang khắc, gây nguy hiểm cho cỗ máy bán dẫn triệu USD.

Quý khách có thể tham khảo thêm quy chuẩn kỹ thuật tại Quy chuẩn công nghệ quang khắc tại Wikipedia. Để công đoạn tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn đạt độ hoàn hảo tối đa, Lê Thịnh chú trọng:

• Sử dụng 100% phôi nhựa PEEK Virgin / PTFE tinh khiết: Không chứa chất phụ gia tạp chất phi kim.
• Tiện ren ngõng H7 chuẩn dung sai ±0.003mm: Đảm bảo vặn siết rắc co êm ái, kín áp hoàn toàn.
• Soi kiểm bavia vi mô dưới kính hiển vi quang học 100x: Đảm bảo lỗ phun không có gờ dăm nham nhở.
• Rửa siêu âm phòng sạch 3 cấp & Đóng túi ESD hút chân không: Đảm bảo độ sạch vi mô tuyệt đối trước khi niêm phong.

THẾ MẠNH DỊCH VỤ TIỆN CNC VÒI PHUN BÁN DẪN TẠI LÊ THỊNH

Cơ Khí Lê Thịnh là nhà sản xuất linh kiện vòi phun và van màng hóa chất bán dẫn uy tín cho các xưởng chế tạo vi mạch B2B quốc tế.

Chúng tôi cung cấp đầy đủ chứng chỉ phôi Nhựa PEEK/PTFE/Inox 316L CO/CQ và báo cáo kết quả rà đo dung sai CMM 3D cho từng sản phẩm tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn.

• Trang bị máy tiện CNC Thụy Sĩ đùn phôi & Phay 5 trục vi lượng: Gia công chính xác các lỗ phun axit vi mô.
• Nguồn phôi Nhựa PEEK, Teflon PTFE, PVDF sẵn kho: Đảm bảo thời gian gia công thay thế linh kiện khẩn cấp.
• Đo độ nhẵn quang học & Kiểm tra dung sai CMM 3D QC: Kiểm soát 100% dung sai kích thước bản vẽ.
• Chi phí B2B cạnh tranh nhất: Nhập phôi trực tiếp, mang lại giá thành tiện cnc vòi phun hóa chất bán dẫn tối ưu nhất.

QUY TRÌNH 5 BƯỚC THIẾT KẾ VÀ TIỆN CNC VÒI PHUN HÓA CHẤT BÁN DẪN