Gia Công Phay & Tiện CNC Buồng Chân Không (Vacuum Chamber) Ngành Bán Dẫn

Dịch vụ phay cnc buồng chân không (Ultra-High Vacuum Chamber – UHV) và chế tạo các vỏ hộp buồng chân không máy lắng đọng hơi hóa học (CVD/PVD), buồng khắc ăn mòn Plasma (Etching Chamber), buồng bốc bay chùm tia điện tử và cụm mặt bích kết nối bơm chân không Turbo giữ vai trò pháo đài bảo vệ môi trường chân không siêu sạch, duy trì độ tinh khiết không khí tuyệt đối trong quá trình chế tạo các cấu trúc vi mạch silicon kích thước nanomet.

Do phải chịu áp suất âm chân không khổng lồ cực đại (10^-7 đến 10^-9 mbar) và làm việc liên tục với các dòng khí phản ứng ăn mòn mạnh ở nhiệt độ cao, các vỏ buồng chân không bán dẫn bắt buộc phải được phay tiện 3D nguyên khối từ thép không gỉ Inox 316L hoặc Nhôm A6061-T6, có bề mặt làm kín rãnh phớt O-ring mài láng Ra 0.1µm và qua thử nghiệm dò rò rỉ khí Heli siêu nhạy.

Tại Cơ Khí Lê Thịnh, chúng tôi tự hào mang đến giải pháp phay cnc buồng chân không chính xác cao tuân thủ nghiêm ngặt theo các tiêu chuẩn kỹ thuật bán dẫn phòng sạch ISO Class 5 và hệ thống ISO 9001.

Xưởng trang bị dàn trung tâm phay CNC 3D 5 trục khổ lớn, máy tiện CNC chống tâm vi lượng, thiết bị đánh bóng điện hóa Electro-Polishing và máy dò rò rỉ khí Heli Helium Leak Detector hiện đại. Lê Thịnh cam kết mang đến các sản phẩm phay cnc buồng chân không sắc nét, đạt dung sai vi mô ±0.003mm, phẳng lì 100% kín khí tuyệt đối.

DANH MỤC PHAY CNC BUỒNG CHÂN KHÔNG TẠI CƠ KHÍ LÊ THỊNH

Phục vụ đa dạng các hệ thống buồng máy bán dẫn B2B từ buồng quang khắc EUV đến buồng lắng đọng màng mỏng, công đoạn phay cnc buồng chân không tại Lê Thịnh làm chủ các nhóm sản phẩm chiến lược:

Bảng thông số kỹ thuật phay cnc buồng chân không

KỸ THUẬT ĐÁNH BÓNG EP VÀ DÒ RÒ RỈ KHÍ HELI TRONG PHAY CNC BUỒNG CHÂN KHÔNG

Buồng chân không UHV nếu tồn tại vết rỗ khí xốp nhỏ ngầm do đúc phôi hoặc rãnh phớt bị vạch sọc dao phay sẽ khiến các phân tử không khí lọt rò rỉ vào lòng buồng, phá hỏng hoàn toàn quá trình tạo màng vi mạch nanomet. Do đó, công đoạn phay cnc buồng chân không tại Lê Thịnh áp dụng quy trình kiểm định chất lượng gắt gao:

• Xử lý đánh bóng điện hóa Electro-Polishing (EP) bề mặt Inox 316L: Loại bỏ vi vảy xước bavia cơ học, biến lòng buồng nhẵn bóng như gương Ra 0.1µm, triệt tiêu tối đa sự thoát khí nội tại Outgassing.

• Thử nghiệm kiểm tra độ rò rỉ bằng máy dò khí Heli (Helium Leak Test): Sử dụng khối phổ kế khí Heli siêu nhạy để bơm hút khí thử nghiệm, đạt tỷ lệ rò rỉ rào cản $10^{-9},text{mbar}cdottext{L/s}$ tuyệt đối.

• Sử dụng 100% phôi Inox 316L dầm đúc chân không nén chặt: Loại bỏ hoàn toàn lỗ rỗ khí ngầm bên trong phôi kim loại.

HƯỚNG DẪN BẢO DƯỠNG VÀ LẮP RÁP BUỒNG CHÂN KHÔNG TRONG PHÒNG SẠCH

Buồng chân không Vacuum Chamber vận hành trong môi trường siêu sạch ISO Class 5 cần được chăm sóc đúng quy trình để duy trì độ kín khí tuyệt đối. Trong quá trình vận hành sản phẩm phay cnc buồng chân không, các kỹ sư cần chú ý:

• Lau sạch rãnh phớt O-ring bằng dung dịch Isopropyl Alcohol (IPA) 99%: Tẩy sạch bụi bẩn trước khi lắp vòng phớt kim loại ConFlat hoặc Viton O-ring.

• Sử dụng mỡ chân không cao cấp mỏng nhẹ vacuum grease đúng liều lượng: Giúp phớt cao su mềm mại, tăng khả năng làm kín áp suất UHV.

• Siết bu-lông mặt bích CF/KF theo đường chéo đối ứng cân bằng lực: Đảm bảo gờ kẹp phớt ăn sâu đồng đều, tránh siết lệch làm méo gờ phớt.

TIÊU CHUẨN KỸ THUẬT QUAN TRỌNG KHI PHAY CNC BUỒNG CHÂN KHÔNG

Buồng chân không nếu gia công bị sai lệch dung sai đường kính rãnh phớt sẽ làm tụt áp suất chân không khi máy đang hấp Wafer.

Quý khách có thể tham khảo thêm quy chuẩn kỹ thuật tại Quy chuẩn công nghệ chân không tại Wikipedia. Để công đoạn phay cnc buồng chân không đạt độ kín khí tuyệt đối, Lê Thịnh chú trọng:

• Phay rãnh phớt O-ring láng mịn Ra 0.1µm: Giúp vòng phớt ép sát khít, không để lại khe hở vi mô.
• Rà đo dung sai vị trí lỗ bu-lông mặt bích bằng CMM 3D: Đảm bảo đồng tâm bích nối bửng bơm Turbo.
• Đánh bóng EP & Rửa siêu âm phòng sạch 3 cấp: Vô trùng hoàn toàn bẩn mạt kim loại.
• Đóng gói niêm phong khí Nitơ túi ESD: Bảo vệ lòng buồng sạch sẽ tuyệt đối trước khi giao tới nhà máy.

THẾ MẠNH DỊCH VỤ PHAY CNC BUỒNG CHÂN KHÔNG TẠI LÊ THỊNH

Cơ Khí Lê Thịnh là nhà chế tạo buồng chân không UHV uy tín cho nhiều tập đoàn sản xuất thiết bị bán dẫn B2B quốc tế.

Chúng tôi cung cấp đầy đủ chứng chỉ phôi Inox 316L/A6061 CO/CQ và báo cáo kiểm định rò rỉ khí Heli cho từng sản phẩm phay cnc buồng chân không.

• Trang bị máy phay CNC 3D 5 trục khổ lớn & Đánh bóng EP: Gia công chính xác các buồng Vacuum Chamber lớn.
• Nguồn phôi Inox 316L, 304L, Nhôm A6061 dồi dào sẵn kho: Đảm bảo tiến độ chế tạo buồng nhanh chóng.
• Đo kiểm dung sai CMM 3D & Máy test Heli QC: Kiểm soát 100% độ kín khí và dung sai bản vẽ.
• Chi phí B2B cạnh tranh nhất: Nhập phôi trực tiếp, mang lại giá thành phay cnc buồng chân không tốt nhất.

QUY TRÌNH 5 BƯỚC THIẾT KẾ VÀ PHAY CNC BUỒNG CHÂN KHÔNG